沈阳奇汇真空技术有限公司奇汇真空技术有限公司（即奇光真空技术研究所）。融合了台湾先进半导体制程技术与沈阳非标科学仪器设计制造技术，联合相关行业的高级人才，努力提高我国的先进半导体及新材料研究制备水平，并为我国科研、产业化的进步提供坚实的设备保证。 公司业务主要涉及新材料、新能源、表面科学等领域。主打产品有：化学气相沉积系列（CVD）、物理气相沉积系列（PVD）、真空处理炉系列、真空电源与控制系列。同时还承揽各种非标科学仪器的合作研发、设计制造、维修改造。